1 引言
　　
　　有机电致发光器件是一种性能优良的新型平板显示器件(FPD),它具有亮度高、对比度高、响应速度快、驱动电压低和可实现全彩色化等优点,特别是制作方法简单、成本低,广泛应用于10in(1in=2.54cm)以下的小尺寸平板显示领域。
　　
　　采用无源矩阵驱动,就要对阴极进行分离,通常采用的方法是在带有ITO透明电极的玻璃基板上,依次蒸镀有机功能层,通过精密掩模技术来蒸镀金属电极材料,达到分离阴极的目的,形成用于矩阵显示的像素单元。这种方式制作简单,但是受到成膜质量和掩模机械尺寸的限制,实现的阴极线条宽度一般大于100μm,不能实现更精细的像素,在对分辨率要求高的场合不能胜任。
　　
　　障壁的制作方法为:先在与条状ITO垂直的方向上制作好绝缘层,并刻蚀成所需要的图形,这就是所谓的障壁,然后在做好的障壁中依次蒸镀各有机功能层和金属阴极,形成交叉的像素点,得到矩阵显示。这种方式的工艺并不复杂,而且现有的微细加工技术已经可以使线条的宽度做到几微米,可得到高分辨率的平板显示器件。
　　
　　2 工艺过程
　　
　　采用障壁技术实现阴极的分离,其器件典型的剖面结构如图1所示[1]。

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