
随着气体放电技术向超高压方向的扩展,电光源制造业研制出许多新型的超高压气体放电光源,如应用于投影技术的LCOS光源、应用于背投电视的UHP光源,应用于汽车前置灯的HID光源.这些光源具有极高的充气压力和工作温度,这使得玻壳必须具有很好的机械强度和热稳定性.石英玻璃正是具有这2方面特性的透光材料,成为超高压气体放电光源的玻壳材料.如何提高石英玻壳的性能成为制作新型气体放电光源的关键.
石英玻壳制作过程中,需要把石英加热到软化点再由外力作用达到需要的形状.这个过程使玻壳产生了因外力和温度变化引起的应力.应力的存在降低了玻壳的机械强度和热稳定性.所以超高压气体放电光源的石英玻壳的应力必须在很小的限定范围内.退火就是使玻壳中的应力达到允许值的热处理过程.在退火过程中需要严格控制温度和降温速率,这种退火称为精密退火.本文对石英玻壳的精密退火工艺参数进行了研究.
1 退火温度
选择适当的退火温度是退火成功的重要因素.温度过高容易使玻壳产生形变,温度过低玻壳的应力消除时间会很长甚至不能消除.为了消除材料的永久应力,必须将其加热到某一温度进行恒温,使应力消除,这个选定的恒定温度,称为退火温度.材料退火温度选择必须同时满足能够消除材料的应力和不使材料产生形变.
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